近年來，國內(nèi)半導(dǎo)體相關(guān)企業(yè)不斷受到外圍以美方為主導(dǎo)的對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制裁，一旦半導(dǎo)體設(shè)備或相關(guān)的零件禁止出口到國內(nèi)，將很大程度阻礙我們在半導(dǎo)體行業(yè)的短期發(fā)展，所以在關(guān)鍵半導(dǎo)體零件上我們國內(nèi)的企業(yè)急需突破相關(guān)技術(shù)壁壘，實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備及相關(guān)零件的自主可控。
這對國內(nèi)相關(guān)企業(yè)來說，半導(dǎo)體精密零部件研發(fā)及加工是個巨大的挑戰(zhàn)，同時也是龐大的商業(yè)機會
據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)調(diào)查公司資料顯示，半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)主要分為八大類：
氣液流量控制系統(tǒng)
真空系統(tǒng)
制程診斷系統(tǒng)
光學系統(tǒng)
電源氣體反應(yīng)系統(tǒng)
熱管理系統(tǒng)
晶圓傳送系統(tǒng)
其他集成系統(tǒng)及關(guān)鍵組件
每個子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成，不同的半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件也有所不同，例如：光刻機的核心零部件包括工作臺、投影物鏡、光源 等，而等離子體真空設(shè)備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括 MFC、射頻電源、真空泵、ESC 等。
半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)采購的零部件通常包括機械類、機電一體類、電氣類、氣體輸送系統(tǒng)類、真空系統(tǒng) 類、附屬設(shè)備等。參考部分半導(dǎo)體設(shè)備公司的招股說明書，其中，腔體、金屬加工件、EFEM 等精 密機加件的國產(chǎn)供應(yīng)商包括靖江先鋒（參考沈陽拓荊、中微公司的招股說明書）、沈陽富創(chuàng)（參考 公司官方網(wǎng)站）、兆恒眾力等，而真空系統(tǒng)、真空泵、射頻電源、機械手等通用部件都是采購 MKS、AE、愛德華、Rorze 等外資品牌。
核心零部件作為半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，與半導(dǎo)體材料、EDA 軟件共同支撐著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中 設(shè)計、制造、封測等環(huán)節(jié)，從而支撐全球經(jīng)濟數(shù)字化進程。半導(dǎo)體核心零部件與半導(dǎo)體原材料一 樣，盡管市場規(guī)模小，卻決定了半導(dǎo)體設(shè)備的核心構(gòu)成、主要成本、優(yōu)質(zhì)性能等。
半導(dǎo)體零部件的競爭格局主要被美國、日本及歐洲企業(yè)壟斷，行業(yè)集中度較高據(jù)ic world 2020數(shù)據(jù)顯示20類半導(dǎo)體核心零部件產(chǎn)品的44家供應(yīng)商中，有大概20家是美國供應(yīng)商，16家是日本供應(yīng)商，歐洲有5家，韓國有2家。
在歷屆半導(dǎo)體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)峰會上，與會企業(yè)表示要促進我國半導(dǎo)體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展， 增強零部件企業(yè)和下游企業(yè)之間的合作，構(gòu)建良性的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，加快零部件國產(chǎn)化進程。通過整合全國集成電路零部件領(lǐng)域創(chuàng)新資源，緩解“卡脖子”問題，實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控，為我國集成 電路技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展做出貢獻。
目前國內(nèi)雖然已經(jīng)有部分企業(yè)實現(xiàn)了部分零件國產(chǎn)化，但是在一些關(guān)鍵性的零件上我們急需加把勁，加快速度實現(xiàn)國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主可控。
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